HexGen HEX500-350HL Hexapod
六自由度定位系統

Aerotech HexGen 六自由度並聯平台（Hexapod）代表了次世代的高精度運動控制技術，為六自由度（Six Degree-of-Freedom, DOF）定位應用帶來全新突破，其中，HEX500-350HL 這款高負載、超高精度的六自由度並聯平台，專為精密定位與動態操控需求所設計，能夠同時實現線性與角度運動控制，確保設備在各種複雜環境下仍能維持極致穩定性與精準度。

這款並聯平台特別適用於X 射線繞射（X-ray Diffraction），能夠精準調整樣品位置，以獲得高品質的繞射資料；在傳感器測試（Sensor Testing） 領域，HEX500-350HL 可提供次微米級的移動解析度，確保測試結果的高一致性與準確性；此外，針對高負載設備操控（High-Force Device Manipulation）的需求，例如：大型光學元件、半導體製造設備、或衛星傳感器校準，HEX500-350HL 皆能提供強大的驅動能力與極致的運動精度，使其成為科研與高端製造領域不可或缺的重要工具。
 

設計特點

• 六自由度（Six-DOF）定位，線性行程可達 110 mm，角度行程可達 40°
  HEX500-350HL 提供六個自由度的高精度運動控制，包括 X、Y、Z 三個線性方向的平移運動，以及 θx、θy、θz 三個旋轉方向的角度調整；其最大線性行程達 110 mm，角度行程可達 ±40°，能夠適應多種複雜的精密調整需求，無論是在材料科學、光學對準，還是高端製造應用中，都能確保運動範圍與靈活性。
   
• 高負載能力，承重達 200 kg，確保穩定運行
  這款六自由度並聯平台專為高負載應用設計，最大承重能力達 200 kg，即使在高動態運動或長時間運行的情況下，仍能維持極高的剛性與穩定性，非常適合用於 大型光學元件調整、半導體封裝設備、X 射線檢測系統以及衛星感測器測試等高負載應用場景。
   
• 精密設計，具備保證的定位精度規格
  Aerotech HEX500-350HL 採用高剛性結構與高精度運動機構，可確保每一個運動軸的定位誤差極小，所有關鍵組件均經過精密設計與測試，以確保整體系統能夠滿足嚴苛的工業與科研需求，並且提供經保證的定位精度規格，確保應用時的穩定性與可靠性。
   
• 最小增量運動（Minimum Incremental Motion）：XYZ 軸 20 nm、θxθyθz 0.2 µrad
  HEX500-350HL 提供超高解析度的微小位移能力，其中線性軸（XYZ）可達 20 nm 的最小增量運動，角度軸（θxθyθz）則可達 0.2 µrad；這樣的極微位移精度使其特別適用於超精密對準與納米級微調應用，例如：光學對準、晶圓檢測、奈米級材料分析等。
   
• 靈活配置與客製化
  為了適應不同應用場景，HEX500-350HL 具備高度的可配置性，包括可根據需求更改平台尺寸、底座設計、安裝孔位配置等；此外，對於特殊應用，Aerotech 也提供客製化服務，可依據使用者的需求調整 運動行程、負載能力、驅動技術或控制方式，確保系統與應用完美匹配。
   
• 可選配真空適用版本
  HEX500-350HL 可提供真空環境適用版本，適用於要求嚴格的科研與工業環境，如同步輻射實驗、電子顯微鏡調整、半導體製造、航太科技以及高端光學測試，真空版本確保系統在低壓環境中仍能維持高穩定性，並降低材料氣體釋放影響。
   
• 強大控制系統與軟體，提供工作及工具座標系統可視化
  Aerotech HEX500-350HL 由 Automation1 軟體型機器控制器驅動，能夠簡化六自由度並聯平台的控制與編程，其直覺化的界面提供即時運動可視化功能，使用者可根據需求選擇不同的工作座標系統與工具座標系統，實現更加靈活的控制方式；此外，Aerotech 提供 HexGen 尺寸計算軟體，讓使用者能夠模擬 HEX500-350HL 的行程範圍，進一步提高應用效率與準確性。

在設計與規格選擇上，運動系統通常需要在多種因素間進行權衡；然而，HEX500-350HL 兼具高負載能力、大行程、高速及次微米級精度，讓您無需在應用規格上妥協。
 

卓越的結構設計（Superior Structural Design）

HEX500-350HL 配備六根高精度驅動支撐桿（Struts），並內建預先加載軸承（Preloaded Bearings）、滾珠螺桿（Ball Screws）、驅動組件，不同於其他品牌使用 DC 有刷伺服馬達（DC Brushed Servomotors） 驅動的六軸並聯機構，HEX500-350HL 採用 AC 無刷無槽伺服馬達（AC Brushless, Slotless Servomotors），可大幅延長設備壽命並提升性能。
 

這些伺服馬達直接與執行器的滾珠螺桿耦合，與市面上使用皮帶（Belts）、齒輪頭（Gearheads）或順應性耦合（Compliant Couplings） 的六軸並聯機構，具有以下優勢：
 

• 更高的驅動剛性
• 更高的定位精度
• 更佳的最小增量運動性能（Minimum Incremental Motion）：
  XYZ 軸 20 nm、θxθyθz 0.2 µrad

此外，執行桿的樞軸關節（Pivot Joints） 具有低摩擦、高剛性的特性，進一步增強 Hexapod 的整體性能。
 

靈活的設計

HEX500-350HL 以靈活與客製化為設計核心：
 

• 平台與基座可根據使用者需求進行修改，如增加特殊安裝孔或特定固定模式
• 可依應用需求調整行程或性能參數
• 可選配絕對編碼器，適用於不允許開機、或斷電後發生位移的應用

此外，該設備的基座與平台均設計有 150 mm 直徑的貫穿孔（Clear Aperture），方便從底部操作工件，基座提供英制或公制光學平台適配安裝孔（Mounting Holes），可直接安裝至光學實驗桌。

若應用需求較為嚴苛，例如：同步輻射樣品調整、半導體製造與檢測、衛星傳感器測試，則可選擇 真空適用版本。
 

強大的控制與軟體

HEX500-350HL 由 Aerotech 公司的 Automation1 軟體型機器控制器驅動，該控制器基於多年來在高難度運動學應用的經驗，可讓使用者透過直覺化界面輕鬆編程與控制六軸機械手，並能在多個使用者自定義座標系統中進行操作；此外，即時運動可視化提供高效的控制體驗。

Aerotech 提供的免費 HexGen 尺寸計算軟體，可讓使用者輕鬆模擬 Hexapod 的行程範圍與可用工作空間。
 

HEX500-350HL 產品規格

外觀尺寸

HexGen HEX500-350HL

 

訂購資訊

回授選配（Feedback, Required）

在 Hexapod 精密運動控制系統中，回授選配決定了如何測量位置、速度或角度，以便系統能夠進行閉迴路控制（Closed-loop Control）。

性能等級 (Optional)

整合選配（Required）

Aerotech 提供標準與客製化整合服務，幫助客戶快速完成系統運行設定；以下為 HEX500-350HL 的標準整合選配：

資料下載

HEX500-350HL Datasheet >