電子元件製造
電子元件製造
電子元件製造
提供電子製造應用,包含:塗覆、鑽孔、平板加工、鐳射直接成像、晶圓切片和半導體加所需最精密的定位控制。
詳細介紹
憑著過去多年的全球客戶成功經驗,我們提供各領域電子製造應用所需的完整方案 !
晶圓切片應用
• PlanarDL 和 PlanarDLA 經過特殊設計和最佳化,可滿足晶圓切片要求
• 採用 PlanarDLA 開孔,可進行雙面加工
• 採用線性馬達,運動精度高、動態性能好:速度達2 m/s,加速度達 2g
• 採用最佳化設計,動態幾何性能優異(平直度達±0.5 μm;平面度達 +1.25 μm)
微機電組裝應用
• XY 龍門解決方案經過最佳化,可快速、精確地取放電子組裝,並可用於加工、對位和檢查作業
• 系統的客製化程度高,包含:行程、Z 軸選件、客戶電纜和軟管管理、整合電子裝置,以及更多的軸和功能
• A3200 控制器軟體可整合第 3 方影像系統,進而能夠以動態方式,自動對齊修正值
鋼板切割應用
• Aerotech 的 AGS15000 龍門其設計,可化解鋼板切割 PCB 微加工所帶來的種種獨特的挑戰
• 自訂電纜管理系統按其設計,包含各種加工電纜和軟管
• 採用雙線性線性馬達和線性光學尺,可消偏航誤差
多頭雷射直接成像應用
• 平台行程長,最佳化之後精度高、速度穩定,幾何性能優異(特別是偏擺),適用於多頭 LDI 應用
• 可使用多種設定,包含 XY 運動和分離橋組裝,其對齊公差低至個位弧秒數
• 採用寬體平台,這些平台按其設計,完全支援大型面板
奈米定位應用
• 整合QNP 和 QNPHD 高精度壓電平台經過最佳化,動態運動性能好,幾何性能一流
• 標準行程的範圍是 10 μm 至 600 μm• 線性達 0.007%
• 定位解析度高 (1 nm)、線性度高,採用直接量測之電容式位移計
面板加工和檢測應用
• 空氣軸承 XY 行程長,經過最佳化,適用於面板加工作業
• 在大於 1 m 的行程內,精度 < ±2 μm,可重複性 < ±2 μm
• 使用額外的 Z 軸,可對平面度進行補償
雷射加工應用
• Aerotech 的 AGV Galvo 掃描器能夠以極高的加工速度,達到微米級的工作位置精度
• 無限視野範圍 (IFOV) 可協調Galvo 掃描器和伺服運動平台之間的運動,對大型、無中斷的區域進行鐳射加工,而不必進行連接
• Aerotech 的 CADFusion 軟體可輕鬆將您的繪圖檔案轉化為 G 代碼,大幅縮短了程式設計和整合時間
印刷電路板應用
• 噴塗/ 列印電子
• 高效率噴塗
• 自動對焦