高精度運動與量測
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µARC 角度與旋轉量測系統
Aerotech µARC 系統提供 <1 微弧度(0.2 角秒)高精度角度與旋轉量測,具備 ABRT400 氣浮主軸 (air-bearing axis),適用於角度編碼器、光學棱鏡與電光成像感測器測試。 -
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直接寫入製造與計量系統
高精度直接寫入製造與計量系統具備五軸聯動運動控制、內建工具設置站、快速更換托盤及全整合自動化系統,適用於精密微加工、半導體製造及光學量測,確保最高測試精度與生產效率。